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真空泵真空的获得方法

真空的获得是真空技术的主要组成部分,借助于多种方法,可在被抽容器中获得一定的真空度.目前可获得的真空度范围相当宽,从100kPa到10-11Pa,就电光源工业来说,也要从100kPa到10-4Pa。

因此,应按照不同的真空度要求和使用情况选择不同的手段获得真空.现有获得真空的手段大致可分为下述三类:真空泵(如机械泵、扩散泵等)、吸气剂(红磷、钡铝、钛、ZrAl16等)和蒸气捕集器(冷阱、干燥器等)。在电光源工业中,获得真空的主要手段是依靠机械真空泵和蒸气流扩散真空泵。


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